وحدة مضخة تفريغ لولبية جذرية لتصنيع أشباه الموصلات

تجمع وحدة مضخة التفريغ اللولبية من نوع Roots بين مزايا مضخات Roots والمضخات اللولبية، مما يوفر حلاً للتفريغ نظيفًا وفعالًا وخاليًا من الزيت للتطبيقات الصناعية والمخبرية الصعبة. بفضل تصميمها المانع للتسرب وعدم احتوائها على زيت تشحيم، تحافظ هذه المضخات على درجة نقاء عالية وأداء استثنائي طوال فترة التشغيل.

مبدأ عمل وحدة المضخة اللولبية الفراغية من نوع Roots

• مضخة التفريغ اللولبية (المرحلة التمهيدية):تعمل كمضخة مرحلة أولية، وتوفر معدلات ضخ عالية وضغط عادم منخفض. يضمن الضغط الميكانيكي عبر فجوات لولبية دقيقة تشغيلًا فعالًا ومنخفض الضوضاء والاهتزاز.
• مضخة التفريغ اللولبية (الرئيسية/المتوسطة):تقوم الدوارات المزدوجة التي تدور بشكل متزامن بنقل غاز العادم من غرفة الشفط إلى غرفة العادم. يمنع إحكام الإغلاق تلوث الزيت، مما يحافظ على بيئة فراغ نظيفة.
• التشغيل التسلسلي:تعمل كلتا المضختين بشكل متسلسل، حيث تعمل المضخة اللولبية على تحسين مستوى الفراغ وتضمن المضخة الجذرية كفاءة ضخ مستقرة ومستمرة.

مزايا الأداء

1. توفير الطاقة:تقلل النسبة المُحسّنة بين سرعة الضخ ودرجة الفراغ من استهلاك الطاقة، مما يجعلها تتفوق على أنظمة الفراغ التقليدية في كفاءة الطاقة.
2. كفاءة عالية:تحقق كفاءة ضخ تزيد عن 90٪، مما يوفر مستويات فراغ عالية مع استهلاك منخفض للطاقة لمختلف العمليات.
3. حماية السلامة:يضمن نظام التحكم المتقدم المزود بوظائف التشغيل/الإيقاف التلقائي والحماية من الحمل الزائد والتيار الزائد وانقطاع المياه الاستقرار على المدى الطويل.
4. تصميم مدمج:يقلل التكديس الرأسي أو الهيكل السلمي من المساحة المطلوبة، مما يجعله مثاليًا للمصانع والمختبرات ذات المساحة المحدودة.
5. تكوين مرن:نسبة سرعة ضخ قابلة للتعديل بين المضخات (1:2 إلى 1:8) للتكيف مع متطلبات العمل المتنوعة.
6. أداء مقاوم للتآكل:أسطح الفائض معالجة أو مصنوعة من مواد مقاومة للتآكل، مما يجعلها مناسبة لاستخراج الغازات المسببة للتآكل والتشغيل في البيئات القاسية.

مجالات التطبيق

• الصناعة الكيميائية:استخراج المذيبات العضوية المتطايرة والغازات واستخدامها في المفاعلات الفراغية – تستخدم على نطاق واسع في العمليات الكيميائية والصيدلانية.
• تصنيع أشباه الموصلات:يدعم عمليات الترسيب الفراغي والتنظيف والحفر.
• الصناعات الغذائية:ضروري لعمليات تغليف الأغذية والتجفيف والتجفيف بالفراغ.
• صناعة المعادن:يستخرج الغاز في الأفران والمختبرات المعدنية لتثبيت عمليات الصهر.
• المختبرات والبحوث العلمية:مثالي للتجارب الفراغية واستعادة الغاز في البيئات العلمية.
• صناعة الإلكترونيات:تستخدم في تصنيع الدوائر المتكاملة، وطلاء الشاشات بالفراغ، وغيرها من عمليات تصنيع الإلكترونيات.